KASHIYAMA日本樫山真空泵SDT1800的特點

工藝耐性強：除形狀的螺桿外，新的加熱器系統進一步強化了工藝耐性，特殊材料具備高耐腐蝕性，能適應豐富的溫度變化，可實現廣泛的工藝響應。

無油干式設計：采用無潤滑油機械結構，可避免介質污染，適用于超潔凈工藝環境，如半導體晶圓制造等。

氮氣吹掃功能：支持氮氣吹掃功能，氮氣流量可在 0 至 120SLM 范圍內調節，增強了工藝靈活性。

抽氣能力強：最大抽速可達 100,000L/min，極限壓力為 0.3Pa，能夠快速有效地抽取氣體，滿足不同應用場景的真空需求。

高效節能：通過新型加熱器系統與機械結構優化，實現了低功耗化，功率僅 3.3kW。

小型化設計：外形尺寸為 1050×515×950mm，機身小巧，節省安裝空間。

冷卻水需求低：冷卻水流量僅需 4.0L/min，對冷卻系統的要求不高，可降低運行成本和設備復雜度。

安全可靠：屬于耐加工和 Super Hirsch 兼容機器，符合工業安全標準，配備高安全性防護設計，能在工況下穩定運行。

產品兼容性好：支持與同系列設備協同工作，可擴展應用場景，例如可與 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。

應用領域廣泛：適用于化工、電子 / 電池、半導體制造、實驗室等領域，可用于晶圓加工、蝕刻等關鍵工藝的真空環境控制，以及高純度實驗環境及腐蝕性氣體處理。