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中村到貨ULVAC日本愛發(fā)科干式真空泵HR60
日本愛發(fā)科(ULVAC)螺桿型干式真空泵具有多種優(yōu)勢(shì),以下為你詳細(xì)介紹:
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產(chǎn)品型號(hào):HR60型

更新時(shí)間:2025-04-28

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

訪問(wèn)量:252

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日本愛發(fā)科(ULVAC)螺桿型干式真空泵具有多種優(yōu)勢(shì),以下為你詳細(xì)介紹:

產(chǎn)品特點(diǎn)高速排氣與低功耗:如 LS 系列通過(guò)螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合,實(shí)現(xiàn)了兼顧高速排氣和低功耗的性能,在接近大氣壓時(shí)具有高抽速,能大幅縮短抽氣時(shí)間,同時(shí)采用 ECO - SHOCK 技術(shù),顯著降低了功耗,在極限壓力下功耗可達(dá)行業(yè)的 0.6kW 或更低。

耐腐蝕性強(qiáng):MS 系列等產(chǎn)品對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理,標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,可降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度,能適應(yīng)多種復(fù)雜工藝環(huán)境123。

排粉性能好:采用 ULVAC 設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸,實(shí)現(xiàn)了高性能的排粉,適用于有粉末產(chǎn)生的工藝,如半導(dǎo)體制造中的蝕刻、灰化等工藝。

運(yùn)行安靜平穩(wěn):內(nèi)置消音器,噪音水平低,如 LS 系列噪音可控制在 61dB(A)或以下,同時(shí)運(yùn)行振動(dòng)小,可提供安靜的工作環(huán)境。

全壓力范圍運(yùn)行:從大氣壓到極限壓力,可在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行,能滿足不同工藝階段對(duì)真空度的要求。

產(chǎn)品系列及應(yīng)用LS 系列:有多種型號(hào),抽速范圍在 120 - 1200m3/h,根據(jù)用途分為 C 型(清潔工藝)和 L 型(輕工藝)。C 型適用于涉及空氣、氮?dú)獾惹鍧崥怏w的工藝,如濺射、氣相沉積、層壓、負(fù)載鎖定室等;L 型適用于涉及蒸汽和其他難處理氣體的工藝,如真空干燥、冷凍干燥、灰化、一般工業(yè)用途等。

MS 系列:是在 LS 系列基礎(chǔ)上改進(jìn)的工藝耐受型,抽速有 115m3/h(MS120A)、560m3/h(MS600A)和 980m3/h(MS1200A)等不同規(guī)格,極限壓力可達(dá) 0.1Pa 以下。應(yīng)用于半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備的真空排氣系統(tǒng),如蝕刻設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等;真空熱處理爐的排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等;鋰電池制造設(shè)備的真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫氣設(shè)備、注液設(shè)備等;醫(yī)療及食品相關(guān)設(shè)備,如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。









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