日本COSMOS新宇宙半導體材料氣體檢測儀
日本COSMOS新宇宙XPS-7II作為專為半導體行業研發的便攜式氣體檢測儀,以精準檢測、便捷運維及安全防護為核心優勢,成為半導體生產、研發及檢修場景的安全裝備,適配高純度生產環境的氣體監測需求。
多元檢測能力適配行業剛需。儀器采用模塊化傳感器設計,通過更換專用盒式傳感器單元,可靈活檢測氯氣、氯化氫、氨氣、硅烷等多種半導體工藝常用毒性氣體及特殊材料氣體,覆蓋半導體蝕刻、沉積等關鍵工序的氣體泄漏監測需求。搭載高精度檢測技術,指示精度達滿量程±10%以內,顯示分辨率根據氣體種類可達滿量程的1/100或1/200,能精準捕捉低濃度泄漏,為工藝安全筑牢第一道防線。
免校準設計大幅降低運維成本。相較于傳統檢測儀頻繁校準的痛點,XPS-7II采用一體化盒式傳感器單元,更換時無需進行氣體校正,僅需簡單插拔即可完成傳感器更換,單人操作即可完成維護,不僅節省校準試劑及人工成本,更避免了現場校準可能引入的誤差風險。儀器應答速度快,60秒內即可達到60%響應,能快速捕捉氣體濃度變化,為應急處置爭取寶貴時間。
安全與便攜性兼顧多樣場景。儀器具備兩段式報警功能,當氣體濃度達到預設閾值時,通過蜂鳴器間歇鳴叫(濃度升高時頻率加快,高濃度時連續鳴叫)、紅色報警燈閃爍及LCD閃爍三重提示,確保現場人員快速察覺風險。機身設計緊湊,尺寸僅W62×H150×D128mm,重量約1.3公斤,搭配防滑握持設計,便于現場巡檢攜帶。采用4節5號堿性電池或專用AC適配器供電,連續使用時長超12小時,滿足單日多點位監測需求。
廣泛適配半導體全產業鏈,涵蓋芯片制造車間、半導體材料儲存倉庫、實驗室及設備檢修現場等場景,同時符合歐盟CE認證及RoHS環保指令,兼顧安全性能與環保要求,為半導體行業安全高效生產提供可靠技術支撐。
日本COSMOS新宇宙半導體材料氣體檢測儀